擴散硅壓力變送器的可靠性高,擴散硅敏感膜片的彈性形變量在微應變數(shù)量級,膜片最大位移量在來微米數(shù)量級,且無機械磨損,無疲勞,無老化.擴散硅壓力變送器的精度高,擴散硅壓力傳感器的感受\敏感轉(zhuǎn)換和檢測三位一體,無機械動件連接轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié),所以不重復性和遲滯誤差很小.由于硅材料的剛性好萊塢,形變小,因而傳感器的線性也非常好.因此它的精度很高.擴散硅壓力變送器的靈敏度高,擴散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應變片高50~80倍,它的滿量程信號輸出在80-100mv左右.對接囗電路適配性好,應用成本相應較低.由于它輸入激勵電壓低,輸出信號大,且無機械動件損耗,因而分辯率極高.擴散硅壓力變送器的頻響高, 由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高,一般在50KC.制造過程采用了集成工藝,膜片的有效面積可以很小,配以剛性結(jié)構(gòu)前置安裝特殊設(shè)計,使傳感器頻率響應很高,使用帶寬可達零頻至100千赫茲.
用戶在選用擴散硅壓力變送器時,可根據(jù)自己所測壓力的性質(zhì),首先應確定選擇表壓\差壓\絕對壓力或負壓品種.如果測量液位,還要確定液位上方是自由大氣壓還是密封容器壓力.一般選擇使工作壓力值在標準量程值的60%-80%為宜,整個測
量系統(tǒng)中可能出現(xiàn)的異常情況所導致的過載壓力不得超過產(chǎn)品允許的最大過載.測量動態(tài)管路液體壓力時,還應考慮水垂效應,
擴散硅壓力變送器在使用時,要注意用活塞壓力計標定時,活塞故障卡死未發(fā)現(xiàn),導致壓力沖開時高過載沖擊敏感膜.擴散硅傳感器零位輸出不能直接采用單臂聯(lián)電阻法進行消除,可采用軟件歸零法\差動輸入修整法\T型電阻網(wǎng)絡(luò)修正等.